Nanopositionier- und Nanomessmaschinen : Geräte für hochpräzise makro- bis nanoskalige Oberflächen- und Koordinatenmessungen

Habilitationsschrift. - Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 ist ein Messsystem einer neuen Generation für makro- bis nanoskalige Oberflächen- und Koordinatenmessungen und erlangte in den letzten Jahren eine immer größere Bedeutung in der Mikro- und Nanomesstechnik. Das Gerät wurde für hochpräzise Messungen in einem Bereich von ca. 25 mm x 25 mm x 5 mm entwickelt Das System besitzt eine gesicherte Messauflösung von 0,1 nm mit kleinsten Quantisierungsschritten von 0,02 nm. Die außergewöhnliche Genauigkeit und die geringen Messunsicherheiten werden durch die abbefehlerfreie Anordnung, das exakte Referenzkoordinatensystem – definiert durch die Messspiegelecke – und die interferometrischen Längenmessungen erzielt. Das Gerät gestattet die Integration verschiedenster Tastsysteme und ermöglicht somit vielfältige Oberflächen- und Koordinatenmessung mit höchster Auflösung im gesamten Messvolumen. Diese Habilitationsschrift beschreibt die Grundlagen, die Komponenten, den Aufbau, die Anwendung und die Weiterentwicklung über die letzten Jahre mit Bezug auf den Stand der Technik