Химическая обработка и фотолитография в производстве...

Main
Химическая обработка и фотолитография в...

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

Мокеев О.К., Романов А.С.

0 / 0

0 comments

Quanto Você gostou deste livro?

Qual é a qualidade do ficheiro descarregado?

Descarregue o livro para avaliar a sua qualidade

De que qualidade são os ficheiros descarregados?

В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.

Ano:

1979

Editora:

Высшая школа

Idioma:

russian

Páginas:

273

Arquivo:

PDF, 80.71 MB

IPFS:

russian, 1979